定制案例

主机口径：?115 mm

单口径测量时间：10 sec

空间分辨率：0.08 mm

被测样品尺寸：500 mm x 600 mm

子孔径测量次数：7 x 7 （max.)

拼接测量时间：< 15 min

常规属性

设备形式：光轴水平设计

光源：单LED准直光源，波长625±10 nm

最大负荷：500 kg（包括样品台）

探测器像素：1200 x 1000 pixels

通光口径：89 mm x 74 mm ，单次测量时间<10 sec 可自动拼接测试

运动行程：水平方向：600 mm，垂直方向：500 mm

样品最大尺寸：长：600 mm；宽：500 mm；厚：200 mm

样品形状：表面平行且抛光, 直接透过率>50% @610...640nm

系统性能

双折射测量范围：0-100 nm

空腔基线稳定性（最大值的标准差）：≤0.05 nm

重复性：CaF2标样重复12次测量最大值的标准差 ≤0.05 nm