液晶面板6代-11.5代 自动双折射应力测量装置

产品规格书

1. 概述

1.1 简介

ABR-100 系列装置能够以 0.01nm 的线性解析度来测量被检样品的双折射系数。可同时测量样品的双折 射主轴和延迟轴两个方向。双折射作为光学相位差被检测。

由于通过双折射测量可以有效地对光学材料的内部应力（失真）及聚合物膜的取向特性进行评估，因 此，双折射测量被广泛应用于材料研究部门以及制造过程中的质量管理。

由于配备了标准的用户友好应用程序软件，因此无需具备专业知识，任何人都可以很容易地进行 操作。

1.2 特点

◎高速测量

◎高线性解析度

◎高精度・广域动态范围

◎测量位置确认

◎操作简单

◎最适合质量管理

1.3 用途/应用实例

◎液晶

・液晶元件

・相位差薄膜

◎半导体

・透镜、衬底

◎光盘

・ CD，DVD 用透明衬底 ・ 光头用部件

◎其他

・大型玻璃块

・各种塑料透镜

・ 各种光纤预制棒

约 0.1 秒钟／测量点（同时测量相位延迟和方位角）

双折射相位差： 0.01 nm

主軸方位角： 0.1 deg.

激光外差法

可以通过目测来确认测量位置

由用户友好式的操作画面和显示画面组成

1.4

(1)主要规格

测量功能 

测量项目 

双折射相位差:Re(nm)

双折射相位差：δ(deg.)

主轴方位角：φ(deg.)  

测量范围*

0～260nm

0～150deg.

0±90 deg.

线性解析度

0.01nm

0.006 deg.

0.1 deg.

重复精度 (*)

±0.03nm

±0.018deg.

±0.1nm

±0.06 deg.

±0.5deg.

测量时间

约0.1秒钟／测量点（同时测量相位延迟和方位角）

(*) 测量标准样品时 : 空气层  (Re. = 0nm), 测量结果 (3σ)

(**) 测量标准样品时 :  1/4波片 (Re.≒158nm), 测量结果 (3σ)

*测量波长为632.8nm的情况下

(2) 光学系统

测量原理  

激光外差法   

光源   

He-Ne激光(λ=632.8nm) 输出功率  2mW  类3B

光束直径  

φ0.75mm   (1/e2)   

(3) 样品测量台

样品测量台 

自动  X/Y轴 测量台

样品尺寸

Max.1600 x 2000mm

样品重量

测量范围

Max.1600 x 2000mm  

测量间隔：25mm间隔

(4) 数据处理系统

硬件PC：  intel Core™ i5(CPU)

    软件

OS : Windows10Pro 64bit

测量模式  ：  Re和φ的测量值

分析模式  ：  Re和φ的曲线，VECTMAP（另售）