衡量化学强化玻璃性能的主要指标有玻璃表面压缩应力(CS,Compress Stress)和压缩应力层深度(DOL,Depth of Compressive Stress Layer),准确测量CS和DOL对于化学强化玻璃相关行业意义重大。光波导法是玻璃行业测量CS和DOL普遍采用的方法,散射光光弹性法是较新的测量技术还未普及。本文从这两种方法的原理进行介绍,并对比两种方法的优劣,最终结合两种方法对复合压缩应力化学强化玻璃的CS和DOL进行测量。结果表明:光波导结合散射光光弹性法可以准确地测量CS、DOL以及整体应力分布,特别是双离子交换锂钠铝硅酸盐玻璃(LNAS,Lithium Natrium Aluminum Silicon)的复合压缩应力分布,弥补了单一光波导法在测量距离玻璃表面较深范围处应力分布不精确和单一散射光光弹性法在测量距离玻璃表面较浅范围处应力分布不精确的缺陷,为玻璃行业测量完整的复合压缩应力分布方法提供借鉴。