锂铝硅玻璃应力检测重大突破  FSM-6000LEUV Premium兼容测试钠离子（Na+）钾离子（K+）CS  DOL  CS30  DOL_0

锂铝硅玻璃在骨干网络上与高铝硅相似，但在组成上同时引入Na、Li两种碱金属离子，可分步或同时进行K?—Na?、Na?—Li?二元离子交换，形成复合压应力层。

由于Li?半径更小，更容易在网络结构中迁移和交换，目前锂铝硅玻璃化学离子交换的强化方法一般分两步进行：（1）第一步在以KNO3为质量分数60%以上的混合熔盐中进行离子交换，以Na?—Li?交换为主，获得具有极深的最大压应力层，DOL＞120um；（2）第二步，在以KNO3质量分数为90%以上的混合盐浴中进行离子交换，以K?—Na?交换为主，获得较高的表面压应力。两步完成后，玻璃表面就形成了较厚的复合压应力层。锂铝硅玻璃交换过程如下图所示：

对于这类通过二元离子交换来实现强化的玻璃产品而言，传统的应力检测方法（光学干涉法）只能探测有限的DOL深度，不适用锂铝硅双强高DOL强化玻璃的应力检测；针对这种DOL≥100μm的强化玻璃产品，田野公司采用FSM-6000LEUV Premium+数据库的形式来测量，针对不同的工艺及厚度，制作相对应的应力分布数据库，后续产线的应力测试数据直接通过选择工艺类别，直接从数据库调出计算值。